新冠疫情以来,全球供应链受阻,半导体产业长期依赖全球分工,受冲击更大。芯片价格快速上涨,整个产业命悬于半导体产能。
近年来,随着国家政府对半导体产业、国家大型基金和国内半导体产业制造商的政策支持,中国半导体市场规模不断扩大,国内半导体产品替代进程逐步加快。电子半导体元件集成度高,生产线窄,对水质要求特别高。超纯水已成为电子工业用水的标准。
传统的超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂制备,但离子交换树脂停止生产需要树脂再生,高能耗也增加了劳动力成本。经过多年的实践,结合膜分离技术,利用反渗透结合EDI装置制备超纯水,出水电阻率可达18MΩ.cm(25℃),满足半导体生产用水的需求。同时,设备还配备了反渗透预脱盐技术,以确保设备的出水水质。同时,EDI处理装置产生的废水较少,不会污染环境,具有较高的环境效益和经济效益,具有广阔的发展前景。
超纯水技术不断完善,开启了各行业生产发展的新局面。许多企业在生产过程中对水质纯度有不同的要求,并得到了广泛的应用,如清洗设备用水、精密产品生产用水、检测用水等。
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