电子级超纯水设备维护保养要点

　　电子级超纯水设备在电子工业等领域起着至关重要的作用，其产出的超纯水质量直接影响到电子产品的性能和品质。为了确保设备长期稳定运行、持续产出高质量的超纯水，科学合理的维护保养必不可少。以下是电子级超纯水设备维护保养的一些关键注意事项。

　　预处理系统的维护

　　预处理系统是电子级超纯水设备的第一道防线，主要包括多介质过滤器、活性炭过滤器等。对于多介质过滤器，要定期进行反冲洗，反冲洗的频率可根据进水水质和运行时间来确定，一般每周至少进行一次。反冲洗时要控制好水流速度和时间，确保滤料得到充分清洗，以去除拦截的悬浮物、胶体等杂质。活性炭过滤器则需定期检查活性炭的吸附能力，当活性炭的吸附性能下降时，要及时进行更换，一般每 1-2 年更换一次。同时，要注意观察过滤器的进出水压力差，当压力差超过设定值时，需及时进行处理，防止因压力过大影响设备运行。

　　反渗透系统的维护

　　反渗透系统是超纯水设备的核心部分。在日常运行中，要密切关注系统的运行参数，如进水压力、产水压力、回收率、脱盐率等。进水压力过高可能会导致膜元件损坏，压力过低则会影响产水量;回收率过高会增加膜元件的结垢风险，过低则会造成水资源浪费。要定期对反渗透膜进行化学清洗，根据膜的污染情况选择合适的清洗剂和清洗方法。一般来说，每 3-6 个月进行一次化学清洗。此外，在设备停机时，要对反渗透膜进行保护，防止膜元件干燥和微生物滋生。可以采用添加保护液的方式，将保护液充满膜元件和系统管道，以延长膜的使用寿命。

　　离子交换系统的维护

　　离子交换系统用于进一步去除水中的离子杂质，以达到超纯水的水质要求。要定期监测离子交换树脂的交换容量，当树脂的交换容量下降到一定程度时，需进行再生处理。再生过程中要严格按照操作规程进行，控制好再生剂的浓度、用量和再生时间，确保树脂得到充分再生。同时，要注意树脂的污染情况，防止有机物、重金属等对树脂造成污染。如果树脂受到污染，要及时采取相应的处理措施，如使用专用的清洗剂进行清洗。

　　消毒与杀菌系统的维护

　　为了防止微生物在设备中滋生和繁殖，影响超纯水的水质，电子级超纯水设备通常配备消毒与杀菌系统，如紫外线杀菌器、臭氧发生器等。要定期检查紫外线杀菌器的灯管，当灯管的使用寿命达到规定时间或杀菌效果下降时，要及时进行更换。对于臭氧发生器，要注意其运行参数的控制，确保臭氧的产生量和浓度符合要求。同时，要定期对设备的管道和水箱进行消毒处理，可以采用化学消毒剂进行清洗和浸泡，以杀灭附着在管道和水箱内壁的微生物。

　　电气与控制系统的维护

　　电气与控制系统是设备正常运行的重要保障。要定期检查电气设备的接线是否牢固，有无松动、老化等现象。检查控制系统的各项参数设置是否正确，确保设备能够按照设定的程序运行。要注意对电气设备的防护，防止受潮、短路等故障的发生。同时，要定期对控制系统进行备份，防止数据丢失。

　　电子级超纯水设备的维护保养是一项综合性的工作，需要从预处理系统、反渗透系统、离子交换系统、消毒与杀菌系统以及电气与控制系统等多个方面入手，严格按照操作规程进行维护和保养。只有这样，才能确保设备长期稳定运行，产出高质量的超纯水，满足电子工业等领域的生产需求。