两大重点项目落户锡山 超纯水助力中国“芯”发力

　　无锡锡山集成电路设备产业园是以打造锡山“四新四强”产业集群为重点的特色专业园区。去年以来，锡山确立了“产业集群+特色专业园”的发展模式，围绕“四新四强”产业集群规划建设了19个特色专业园，其中“一中心、两基地、两园区”的产业发展新格局将围绕集成电路行业建设。

　　集成电路的集成度越高，对水质的要求就越高。这种集成电路相当于电子工业的“大脑”。虽然它只有指甲那么大，但数十亿纳米级晶体管应该放在集成电路板上。在集成电路生产中，80%以上的工艺需要化学处理，而每一种化学处理都离不开水。因此，半导体行业对生产用水的水质也有非常严格的要求，因为一旦水质不合格或水中含有杂质，就会降低器件的性能和产量。因此，生产中需要使用超纯水。集成电路行业使用的水是否合格也决定了产品能否获胜。

　　传统的超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂制备，但离子交换树脂的关闭需要树脂再生，这需要耗费物力和人力。然而，经过多年的实践，莱特莱德公司结合膜分离技术，采用反渗透结合EDI装置和精混床的工艺制备超纯水，其出水电阻率可达18MΩ·cm(25℃)，有助于中国“芯”的发展。

　　集成电路产业是信息技术发展的基石。无锡是中国集成电路产业的摇篮。集成电路产业链完整，配套设施完善，内幕信息深刻。在此背景下，无锡锡山集成电路设备产业园应运而生，并将努力打造成为无锡乃至江苏省具有核心竞争力的集成电路特色专业园。江苏省半导体工业协会也将积极参与并为园区的发展做出贡献。