随着光学领域对水质要求的不断提高,超纯水的纯度已成为影响光学器件质量、收率和成本的重要因素之一。可以说,超纯水设备的性能直接影响超纯水的质量。
在晶体管和集成电路的生产中,超纯水的主要用途包括清洗硅片,少量用于制备药液、氧化硅的水蒸气源、一些设备的冷却水以及电镀溶液的制备,集成电路的质量和收率息息相关。水中的碱金属(K、Na等)会使绝缘膜的耐电压性能恶化,重金属(AU、Ag、Cu等)会降低PN结的电压电阻,III类元素(B、Al、GA等)会破坏n型半导体的特性,V族元素(P、AS、Sb等)会破坏P型半导体的特性。细菌在水中(约为灰分的20-50%)对磷进行高温炭化,可使局部p型硅变为n型硅,导致器件性能下降。如果水颗粒(包括细菌)吸附在硅片表面,会导致短路或性能下降。
传统的超纯水处理工艺为单级/双级反渗透设备+混床。其缺点是需要再生,不能连续产水,不仅效率低,而且浪费资源。莱特莱德经过多年实践,同时结合膜分离技术,采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合的工艺来制取超纯水。与传统工艺相比,该工艺具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长),运行可靠。莱特莱德超纯水设备出水水质符合行业用水标准。
莱特莱德超纯水设备除了应用在光学领域外,在电子、电力、造纸、日化等领域都有着广泛的应用,具有广阔的应用前景。莱特莱德专注电子超纯水领域,是集研发设计、设备制造、工程施工、运营维护为一体的环保解决方案服务商。
企业网址www.ediwater.cn
咨询热线021 3100 9988
电话热线010 5165 9999
版权所有:莱特莱德·水处理 辽ICP备12004418号-76 辽公网安备21012402000201号