半导体产业是我国电子信息产业的重要组成部分,近年来发展迅速。我国半导体产业的主要产品包括芯片、半导体器件、半导体材料等,应用范围广泛,包括计算机、通信、消费电子、汽车、工业控制等领域。我国半导体产业的发展经历了从引进到自主研发的过程,现在已经具备了一定的技术实力和规模优势,除了国内市场外,还积极发展海外市场。
半导体清洁程度对于产品质量至关重要,能直接影响到产品的安全性和可靠性。半导体清洁不彻底会导致晶圆表面的杂质含量增加,从而影响到电子元件的工作性能和寿命。在半导体生产中,常常会进行蚀刻、切割、焊接等工艺,会造成半导体表面产生各种杂质。这些杂质成分的清洗需要采用到高纯度的超纯水,才能避免对半导体造成污染。
超纯水成分简单,除了氢原子和氧原子之外,基本不含有任何有机物、金属离子、盐分、细菌和微生物。应用超纯水清洗半导体不但可以去除半导体表面的污垢,也不用担心对其造成腐蚀和污染。超纯水设备是生产这种超纯水的专用设备,采用了“反渗透+EDI+抛光混床”的技术工艺,生产超纯水连续稳定,生产过程无污染、能耗低。
反渗透膜可以有效分离去除超纯水中除了氢氧原子之外的杂质成分,是一种物理分离方式。EDI技术能实现带电荷运行,加快离子迁移速度,实现超纯水深度脱盐。抛光混床工艺处理有力保障超纯水设备出水质量,使出水质量达到18MΩ*cm(25℃)。
超纯水设备生产超纯水质量可靠,应用在半导体行业中能确保产品质量,降低产品报废率,从而提高半导体产业的整体效益,对促进我国半导体科技发展有重要价值。
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