超纯水是一种接近高纯度的水,其纯净度是我们日常中喝的矿泉水的4000倍,不过也正因为它的“干净”,它里面除了水分子外,几乎没有什么杂质存在...(也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水)。它没有细菌、病毒,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,所以看似纯净,却并不适合饮用,而且超纯水在自然界中基本是不存在的,想要获取需要经过一系列复杂的高科技工艺,才能生产制造出这种水。
超纯水是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm。
预处理
包括砂滤、多介质过滤、软化、加氯、调节pH、活性碳过滤、脱气等。过滤可除去1~20微米大小的颗粒,软化和调节pH可防止反渗透膜结垢,加氯是为了杀菌。
脱盐
反渗透是渗透现象的逆过程,在浓溶液上加压力,使溶剂从浓溶液一侧通过半透膜向稀溶液一侧反向渗透,脱盐可达98%,并能除去99%的细菌颗粒和溶解在水中的有机物。
精处理
超滤是把各种选择性的分子分离。在超滤过程中,水在压力下流过一个卷式或中空纤维膜棒。膜孔径在10~200埃范围内,薄膜厚度为0.1~0.5微米,附在一个中孔的纤维棒内壁上,超滤能除去细菌和0.05微米的粒子。
如此复杂工艺生产出来的“超纯水”,在半导体行业如今正在如火如荼的应用着。超纯水可作为芯片生产的清洗用水,直接影响着芯片的良品率,是十分重要的步骤之一。
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