集成电路超纯水设备在集成电路生产中的应用介绍
集成电路超纯水设备是集成电路生产过程中制取纯水的主要装置之一。集成电路在生产过程中,每个阶段结束之后都需要用水冲洗,集成电路属于精密仪器,所以对清洗用水要求较为严格,如果水中含有任何杂质,都会导致生产的产品性能变差甚至会导致电路导管堵塞,生产产品无法使用。所以在冲洗时必须采用处理后的纯水。
集成电路超纯水设备为其提供安全的冲洗用水。超纯水可分为一级纯水处理和二级纯水处理。该生产过程中使用的纯水可以通过集成电路超纯水设备集中处理,然后供给给各个生产车间。
集成电路超纯水设备主要是运用反渗透膜和EDI装置,通过物理分离和电去离子方式将水中含有的微小污染物、细菌病毒等有机物滤除,从而得到集成电路冲洗用水。另外,需要注意的是纯水的储存,因为超纯水很容易与其它物质接触,受到污染,而导致水质纯度降低。所以对管道输送要求也较为严格,注意管道的清洁卫生。
为了确保集成电路超纯水设备产出的水质符合使用标准,防止处理后的纯水在输送过程中受到其它外界因素污染,可以在用水点之前安装一个紫外线杀菌装置,为用水安全提供保障,经过一系列严格制备流程产出的纯水,足够满足集成电路清洗用水要求,保证该行业生产的产品质量,为其行业生产用水处理提供技术支持。