单晶硅超纯水设备有效解决单晶硅生产用水难题
单晶硅的半导体特性是在19世纪被科学家发现的,它几乎改变了一切,甚至人类的思维。直到上世纪60年代开始,硅材料就取代了原有锗材料。选择硅材料的主要原因是具有耐高温和抗辐射性能较好,特别适宜制作大功率器件的特性而成为应用比较多的一种半导体材料,目前,集成电路半导体器件大多都选用硅材料制造。现在,“硅”在我们的生活中处处可见,单晶硅太阳能电池是近15年来形成产业化比较快的。随着市场对单晶硅片需求量的不断增加,单晶硅棒的市场需求也呈快速增长的趋势,单晶硅已渗透到国民经济和国防科技等各个领域中。
单晶硅在生产过程中对用水要求十分严格,如果水质不合格会直接影响单晶硅的品质,导致单晶硅性能下降,如果把这种次品应用到其他产品中,也会影响到其他产品的性能,所以单晶硅超纯水设备成为了单晶硅生产过程中不可缺少的装置之一。单晶硅超纯水设备采用的主要工艺如下:
原水箱→原水提升泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级高压泵→一级反渗透→级间水箱→二级高压泵→中间水箱→EDI提升泵→微孔过滤器→EDI系统→EDI水箱→抛光混床→用水点
单晶硅超纯水设备被广泛应用于太阳能电池、单晶硅/多晶硅硅片硅材料清洗、LED、LCD、光电光学行业领域中。单晶硅超纯水设备设计采用成熟、可靠、先进、自动化程度高的两级RO+EDI+抛光混床处理工艺,确保处理后的超纯水水质能够完全符合单晶硅生产用水标准,使得生产效率更高、运行更加稳定、经济效益理想。
相关推荐:进水量指标对多晶硅超纯水设备有什么影响