硅晶片清洗用超纯水设备中反渗透装置如何自动运行及保护
元素硅是一种灰色、易碎、四价的非金属化学元素。地壳成分中27.8%是硅元素构成的,仅次于氧元素含量排行第二,在石英、玛瑙、燧石和普通的滩石中就可以发现硅元素。硅晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的。硅晶片清洗用超纯水设备对于硅晶片生产厂家来说是必不可少的水处理设备,那么硅晶片清洗用超纯水设备中反渗透装置如何自动运行并进行装置自我保护呢?下面为您详细解答:
1、一级反渗透高压泵进水设低压保护器,开关量的压力信号输入控制系统,当压力小于0.05-0.1MPa时,高压泵自动停止运行,硅晶片清洗用超纯水设备自动报警。
2、高压泵出口设高压保护器,开关量的压力信号输入控制系统,当压力大于某一设定值时,高压泵自动停止,系统自动报警。
3、高、低压保护器设定的压力可根据实际需要手动设定。
4、反渗透浓水侧设一自动冲洗电磁阀,设定时间进行冲洗,用于硅晶片清洗用超纯水设备的定期快冲洗。
以上就是小编为大家介绍的全部内容,希望对您有帮助。我们在使用硅晶片清洗用超纯水设备时一定要注意设备的日常保养工作。