半导体生产用纯水设备主要有哪些系统组件

　　半导体生产用纯水设备主要是由制备系统、控制系统、消毒系统和分配系统这四大系统装置组件组成。每一个系统组件都有自己的职责，每个部分的功能和作用也有所不同。下面详细为大家介绍一下半导体生产用纯水设备四大系统组件：

　　1、制备系统：该系统是由预处理和反渗透脱盐两部分组成，其中，预处理包括了活性炭过滤器和石英砂过滤器。而反渗透脱盐主要是二级反渗透装置，该装置是整个设备的核心，可确保出水的品质。

　　2、控制系统：通过就地控制和集中控制相结合的方式进行控制，监控电导率、压力、水温等重要指标。

　　3、消毒系统：通过板式换热器和紫外线杀菌进行巴氏消毒。

　　4、分配系统：由纯水储罐和闭路循环管路系统构成的分配系统，其中纯水储罐采用的是薄壁内外抛光而成的不锈钢罐。而循环管路采用的是强制循环供水，所用的管路都是采用卫生级不锈钢管制作，且连接处都是采用卡箍来连接，还有所有用水点的连接方式是以串联的方法进行。

　　以上就是小编为大家介绍的全部内容，希望对您有帮助。半导体生产用纯水设备应用领域很广泛，所产生的效益却与我们息息相关。

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