使用晶圆超纯水设备有哪些注意事项
为了晶圆超纯水设备能够更好的运行,我们在使用晶圆超纯水设备时要注意一些事项。下面小编为大家介绍一下使用晶圆超纯水设备有哪些注意事项:
1、防止滤料进入反渗透装置:选择合适的过滤器出水装置,选择合适的活性炭,防止在使用过程中脱粉。
2、以自来水为水源的晶圆超纯水设备要设立独立的供水系统,这样既可以保证供水系统的稳定运行,又可以减少RO系统启停时对供水管网造成瞬间冲击。
3、为了防止R0装置结垢,应避免阳离子型混凝剂与阴离子型的阻垢剂发生反应,防止反应生成的胶体化合物在膜面沉积。
以上就是小编为大家介绍的全部内容,希望对您有帮助。
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