硅晶圆行业超纯水设备各项仪表的应用介绍

文章出处：EDI水处理作者：EDI水处理发表时间：2019-12-06 11:58:55

　硅晶圆行业超纯水设备运行状况是否良好，我们可以通过观察各项仪表显示的数据来了解。下面为大家详细介绍硅晶圆行业超纯水设备各项仪表的应用：

　　1、通过观察RO出水电导率、高压泵的开关、进出水流量、压力等参数了解设备的运行工况。

　　2、反渗透高压泵进口设低压保护器，当高压泵进水压力<0.1Mpa时，高压泵自动停止工作。

　　3、反渗透高压泵出口设高压传感器，当工作压力大于某一设定值，高压泵停止运行，以防损坏后级管道及膜元件。

　　4、硅晶圆行业超纯水设备的进水、浓水、淡水阀：主要调节RO进水量、产水量、进水压力、浓水压力及回收率。

　　5、硅晶圆行业超纯水设备的电导仪：电导仪用于监测RO进出水电导率的变化情况。

　　6、硅晶圆行业超纯水设备的高压泵：增压满足RO膜元件进水压力要求。

　　7、硅晶圆行业超纯水设备的液位自控：主要用于防止停水情况下，高压泵继续运行而使高压泵损坏，另一作用是如中间水箱高位时，可使RO停止运行，防止纯水箱溢流。

　　以上就是我大家介绍的硅晶圆行业超纯水设备各项仪表的应用，希望可以帮到大家。