电子行业超纯水设备应用工艺简介
电子行业超纯水设备主要应用于半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。下面为大家介绍电子行业超纯水设备应用工艺:
1、电子行业超纯水设备工艺设计共分为四部分:预处理系统、反渗透系统、EDI系统、终端供水系统。
2、预处理系统主要用于去除原水中的悬浮物、浊度、色度、胶体以及部分有机物,保证产水符合反渗透系统的进水水质要求。
3、反渗透系统主要用于去除原水中溶解性盐类物质、细菌、热源等,保证产水符合EDI系统进水水质要求。
4、EDI系统主要用于对反渗透产水进行进一步脱除溶解性的小分子盐类物质,产水电阻率达到18MΩ.cm左右。
5、终端供水系统主要是用于将合格水输送至用水点。
电子行业超纯水设备应用工艺不断完善,为电子行业生产用水提供保障。
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