半导体超纯水设备公司为您分享工艺设计方案
半导体行业在生产过程中,半导体中电解液的配置对水质的要求非常的严格,而半导体超纯水设备大大满足了客户的用水需求,保证了半导体超纯水设备的安全使用。半导体超纯水设备公司为您详细分解工艺设计方案,下面我们一起了解:
1、第一级预处理系统:采用石英砂多介质过滤器,主要目的是去除源水中含有的泥沙、铁锈、胶体物质、悬浮物等颗粒在20m以上对人体有害的物质,系统可以自动(手动)进行反冲洗,正冲洗等一系列操作。
2、第二级预处理系统:采用果壳活性碳过滤器,目的是为了去除水中的色素、异味、生化有机物、降低水的余氯值及农药污染和其他对人体有害的污染物。系统可以自动(手动)进行反冲洗,正冲洗等一系列操作。
3、第三级预处理系统:采用阳树脂对水进行软化,主要是降低水的硬度,去除水中的钙、镁离子(形成水垢的主要成分),可有效延长反渗透膜的使用寿命,并可进行智能化树脂再生。
4、第四级预处理系统:采用5um孔径精密过滤器,使水得到进一步的净化,使水的浊度和色度达到优化。保证RO系统进水条件要求,保证设备的产水质量,延长设备的使用寿命。
5、紫外线消毒:借助于短波(180nm-254 nm)紫外线照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有机化合物,如甲醇、乙醇等,使其转变成CO2和水,以降低TOC的指标。
6、离子交换:已知混合离子交换床是除去水中离子的决定性手段。借助于多级混合床获得超纯水也并不困难。但水的TOC指标主要来自树脂床。因此高质量的离子交换树脂就成为成功的关键。所谓高质量的树脂,就是化学稳定性特别好,不分解,不含低聚物、单体和添加剂等的树脂。
7、EDI设备:通过阳、阴离子膜对阳、阴离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用,在电场的作用下实现水中离子的定向迁移,从而达到水的深度净化除盐,并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生,因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水。