半导体生产用纯水设备进水指标不达标会造成哪些影响?
我们大家都知道水是一种溶解能力很强的溶剂,因此我们日常生活、生产所使用的的天然水、地下水中含有各种盐类和化合物,容有二氧化碳,还有胶体,天然水中还存在大量的非溶解性杂质,包括了黏土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物和热源等等。所以我们在使用半导体生产用纯水设备时对设备的进水是有一定指标要求的,那么如果指标不达标会对半导体生产用纯水设备造成哪些影响呢?
1、RO反渗透膜受金属氧化物污染;
2、胶体污染;
3、RO反渗透膜结垢;
4、悬浮物污堵RO反渗透膜;
5、半导体生产用纯水设备有机物及微生物等污染,导致出水COD升高。
除此之外,会对整个半导体生产用纯水设备装置造成不良影响:降低半导体生产用纯水系统的产水量;降低半导体生产用纯水系统的产水品质;增加半导体生产用纯水设备运行的能耗,包括原水、电耗;增加水处理的运行成本,包括反渗透阻垢剂、树脂再生盐、其他水处理药剂等。