多晶硅材料超纯水生产常用工艺有哪些

 　多晶硅常温下不活泼，高温下可以与氧、氮、硫等反应。高温熔融状态下，多晶硅具有半导体性质，是极为重要的半导体材料。多晶硅超纯水设备是多晶硅行业生产必不可少的水处理设备，多晶硅材料超纯水生产过程中常用工艺有哪些？下面为您详细汇总：

　　1、预处理系统-反渗透系统-粗混床-精混床-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺)

　　2、预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)

　　3、预处理-一级反渗透-二级反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM) (新工艺)

　　4、预处理-反渗透-EDI装置-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(新工艺)

　　5、预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)

　　6、预处理系统-反渗透系统-粗混合床-精密过滤器-用水对象(≥5MΩ.CM)(传统工艺)

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