半导体生产用纯水设备管道怎么设计?
纯水是半导体工业生产过程中必备的一个原料之一,半导体生产用纯水设备是制取纯水的重要系统,因此为了保障产水质量,其工艺设计要严格控制符合相关标准,那么具体半导体生产用纯水设备管道怎么设计呢?
在半导体生产用纯水设备系统设计方面,为了实现各区段无死角,若二级反渗透、纯水箱满水后,2小时内终端不用水,终端水箱液位无变化,会自动循环到自来水箱,触发整系统重新造水,防止管道长时间不流动滋生细菌。同时对纯水电导率实施实时的监控,保持最低1.1m/s以上的流速,以减少纯水管网微生物滋生的可能性。
在半导体生产用纯水设备管道焊接工艺方面,采用先进的德国自动焊机记忆GF专用切管工具。并严格规定所有半导体生产用纯水设备管道优先采用焊接,其次卫生级卡接,杜绝丝牙的连接方式。
在半导体生产用纯水设备系统管道连接方面,纯水任何活动接口均用卫生级卡箍连接。并配备了专用浓水隔膜调节阀,隔膜阀水平安装时为45度,循环管线安装设为0.5的坡度,设最低点为排放点。
关于半导体生产用纯水设备的工艺设计要点,需求用户也有必要有所了解,方便购买半导体生产用纯水设备应该了解如何辨别半导体生产用纯水设备的好坏。