电子行业生产过程中，需要采用达到国家级标准的电子清洗超纯水来清洗产品，提高产品的质量，因此电子清洗超纯水需要达到以下标准：
电子级超纯水中国国家标准(GB/T11446.1-1997)
|
项目
级别
|
比电阻 MΩ.cm@25℃
|
硅 ≤ μg/L
|
>1μm微粒数 < 个/ml
|
细菌个数< 个/ml
|
铜≤μg/L
|
锌≤μg/L
|
镍≤μg/L
|
钠≤μg/L
|
钾 ≤ g/L
|
氧≤ μg/L
|
硝酸根≤
μg/L
|
磷酸根≤
μg/L
|
硫酸根 ≤μg/L
|
总有机碳≤μg/L
|
|
EW-Ⅰ
|
18（95%的时间不低于17）
|
2
|
0.1
|
0.001
|
0.2
|
0.2
|
0.1
|
0.5
|
0.5
|
1
|
1
|
1
|
1
|
20
|
|
EW-Ⅱ
|
15（95%的时间不低于13）
|
10
|
5
|
0.1
|
1
|
1
|
1
|
2
|
2
|
1
|
1
|
1
|
1
|
100
|
|
|
中国国家电子级超纯水GB/TII446.1-1997标准
|
指标级别
|
EW－Ⅰ
|
EW－Ⅱ
|
EW－Ⅲ
|
EW-Ⅳ
|
|
电阻率 MΩ，cm(25℃)
|
18以上，（95％时间）不低于17
|
15，（95％时间）不低于13
|
12.0
|
0.5
|
|
全硅，最大值,μg/L
|
2
|
10
|
50
|
1000
|
|
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
|
0.1
|
5
|
10
|
500
|
|
细菌个数，最大值，个/mL
|
0.01
|
0.1
|
10
|
100
|
|
铜，最大值，μg/L
|
0.2
|
1
|
2
|
500
|
|
锌，最大值，μg/L
|
0.2
|
1
|
5
|
500
|
|
镍，最大值，μg/L
|
0.1
|
1
|
2
|
500
|
|
钠，最大值，μg/L
|
0.5
|
2
|
5
|
1000
|
|
钾，最大值，μg/L
|
0.5
|
2
|
5
|
500
|
|
氯，最大值，μg/L
|
1
|
1
|
10
|
1000
|
|
硝酸根，最大值，μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
磷酸根，最大值，μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
硫酸根，最大值，μg/L
|
1
|
1
|
5
|
500
|
|
总有机酸，最大值，μg/L
|
20
|
100
|
200
|
1000
|
|
关于我们
工程业绩
获取方案
电话咨询 
