超纯水设备保障芯片生产用水纯度绰绰有余

 　　根据中国半导体协会(CSIA)的统计，中国有1600多家本土半导体公司，全球市场份额也上升到13%。除了本地企业外，越来越多的“跨境”企业从事半导体业务。另一项统计数据显示，自今年以来，有5万多家主营业务与半导体无关的企业在中国注册了半导体业务。

　　芯片相当于电子工业的“大脑”。虽然它只有指甲那么大，但数十亿纳米级晶体管应该放在芯片板上。在芯片生产中，80%以上的工艺需要化学处理，而每一种化学处理都离不开水。集成电路的集成度越高，对水质的要求就越高。因此，芯片行业对生产用水的水质有非常严格的要求，一旦水质不合格或水中含有杂质，就会降低器件的性能和产量。因此，芯片生产中需要使用超纯水。

　　莱特莱德采用双反+EDI+抛光混床组合工艺：反渗透系统采用反渗透膜元件，利用反渗透原理去除水中溶解的盐、有机物、胶体和大分子。降低水质中的离子含量。EDI是结合离子交换膜技术和离子电迁移技术的超纯水制造技术，无需酸碱再生，是一种新的脱盐方法。EDI系统处理超纯水无需再生回收的化学品，运行成本低，EDI系统自动化程度高，连续运行，出水水质好且稳定，出水电阻率高≥ 15mΩ·cm。抛光混床用于超纯水处理系统的末端净化器。设计、制造和生产的半导体级混床离子交换树脂可将水中离子含量降至PPB级别，出水电阻率可达18.2mΩ·cm。保障芯片生产用水的纯度绰绰有余。