超纯水设备有力保障晶圆品质

 　　晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨、抛光、切片后、形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。晶圆生产工艺中会使用到大量超纯水，超纯水是精密元器件生产品质的重要保障。超纯水生产设备现多采用反渗透水与电去离子(EDI)设备相结合生产工艺，是一种环保、经济、有发展潜力的超纯水制备工艺，相较于传统超纯水制备工艺具有以下优势：

　　1、再生不需要再生化学品。EDI水处理工艺不需要添加任何化学品，减少了化学品的输送问题，同时降低了系统的运行成本。

　　2、不需要中和剂。EDI膜块不会产生酸碱废液，不需要酸碱中和罐。EDI水处理系统产生的浓水一般可以回收利用。

　　3、整个系统运行成本低。EDI超纯水设备主要消耗电力维持系统运行，低于传统的混床工艺。

　　4、水资源利用率高。与混床工艺相比，EDI超纯水设备的水利用率可达95～99%，有效地提高了水资源的利用率。

　　5、EDI超纯水设备无需更换树脂即可连续工作，自动化程度强，无需人工操作。

　　6、EDI超纯水设备结构紧凑，占地面积小，安装方便。

　　该超纯水制备工艺能连续稳定地制备出符合晶圆生产需求的超纯水，不会因树脂再生而停止运行。设备结构设计比较紧凑，占地面积很小，可以为企业节省很多空间。超纯水设备出厂前需要调试，设备故障概率小，日常维护维修操作非常简单。