超纯水设备在航天微电子行业的应用

　　随着航天电子信息系统的复杂性和技术的快速升级，微电子技术及其产品将在航天新产业体系建设中发挥重要作用。微电子技术在航天产品中的应用，不仅对降低体积、重量和功耗起到了直接作用，而且随着航天模型问题的基本解决，对航天模型的性能要求也提高到了人们关注的焦点。为了缩小与国外航天产品和武器的性能差距，满足新一代航天产品的要求，必须跟进集成电路制造、片上技术等微电子技术的研发。

　　航天微电子行业包含的产业很多，半导体、集成电路、系统设计等行业，随着我国IC市场高速增长，微电子产业已形成由集成电路设计、制造、封装测试所组成的产业链，伴随着对每片晶片上更多芯片及单数位纳米范围内更窄线宽的需求的不断增长，因此行业对于清洗用超纯水的要求也日益严格。

　　传统的超纯水处理工艺是单级/双级反渗透设备+混床，其缺点是需要再生，不能连续制水，不仅工作效率低，也浪费了资源。而现如今的超纯水制取工艺多采用反渗透设备+EDI+抛光混床，无需再生化学品的再生，有效降低了运行成本。

　　莱特莱德超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，阻垢剂加药、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、EDI电除盐系统、抛光混床系统等构成主要设备系统。莱特莱德超纯水设备具有良好的性能比，可实现自动控制，完全可以达到我国电子级水质标准，具有自动化程度高，过程易实现自动控制，产水水质稳定等优势。其工艺流程为：

　　原水箱→增压泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→一级RO主机→一级纯水箱→二级RO主机→二级纯水箱→增压泵→紫外线杀菌器→精密过滤器→EDI系统→TOC脱除器+脱气膜+抛光混床→终端过滤器

　　超纯水设备优势

　　1、无需酸碱再生：在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生，而EDI则消除了床酸碱再生时产生的废酸费碱的处理和繁重的工作，保护了环境。

　　2、连续、简单的操作：在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而EDI的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化。

　　3、降低了安装的要求：超纯水处理设备采用积木式结构，可依据场地的高度和灵活地构造。模块化的设计，使EDI在生产工作时能方便维护。

　　航天微电子作为服务航天的行业电子，首先要满足航天产品维护、生产及未来发展的需要，实现核心芯片国产化，在未来，莱特莱德将不断的引进国外的先进技术，采用国外的配置原件，保证了设备的质量，保证设备的工作效率和出水质量，为航天微电子行业提供优质用水。