电镀用超纯水处理设备进水水质要求指标

　　电镀行业用水需求量很大，水质要求也很高，因此在制取电镀用水时，电镀用超纯水处理设备对进水水质也有一定的要求，其指标如下：

　　（1）电导率

　　电导率是水中离子总量的综合指标，但它只能作为EDI进水水质的一个参考性指标，不能直接代表纯水水质。其中主要的原因是电导率不能真实反映水中弱电解质的含量，比如二氧化碳，同样是产水为5μs/cm的RO产水，其二氧化碳含量有可能是1ppm也有可能是5ppm。

　　（2）变价金属Fe、Mn<0.01ppm

　　铁、锰等高价离子会使膜堆中的离子交换树脂有中毒作用，这比铁、锰离子在混床中的中毒现象还要严重很多，由于膜堆中的树脂总量比混床里的少很多，所以使树脂全部中毒时间会比混床短很多倍。因此应严格控制进水的铁、锰含量。

　　（3）余氯：≤0.05ppm

　　余氯对离子交换树脂的氧化作用会使树脂永久性的损伤。

　　（4）CO₂<5ppm

　　因为二氧化碳在不同PH值下的存在形态不同，因此CO₂是导致产水水质的差的首要原因。在膜堆内CO₂转化成为HCO_3-。在阴离子的交换膜附近高PH处还会转为CO₃^2-。CO₂的含量将明显的影响产水水质。如果包括CO₂在内的TEA超过25ppm，膜堆将不能制备高纯度的产水。可以通过调节RO进水pH值或使用脱气装置来降低CO₂量。

　　（5）可溶硅：≤0.5ppm

　　硅是许多发电和半导体装置中的必须要控制的杂质。通常，大部分有活性的硅被RO脱除。RO产水中残留的硅能被EDI有效地去除。

　　（6）PH：5-9

　　PH值是影响进水二氧化碳的重要指标，当进水总硬度低的情况下，可通过适当提高PH值，提高产水水质。

　　（7）有机物(TOC)：≤0.5ppm

　　（8）H₂S：≤0.01ppm

　　（9）SDI：≤1.0

　　（10）油或油脂：不能检出。

　　严格按照正确的进水水质要求指标执行，能够有效的保证电镀用超纯水处理设备性能及其使用寿命，并且使超纯水处理设备产水水质稳定。