集成电路用超纯水设备工艺设计解读

文章出处：EDI水处理作者：EDI水处理发表时间：2016-09-14 13:49:29

　　集成电路用超纯水设备采用世界领先的膜分离技术，同时结合EDI技术和混床技术，根据用户需求设置多种制水工艺，从而多视角、全方位满足不用行业用水需求。

超纯水设备

　　集成电路用超纯水设备工艺设计

　　为满足用户需要，达到符合标准的水质，尽可能地减少各级的污染，在工艺设计上，取达国家自来水标准的水为原水，再设有介质过滤器，活性炭过滤器，精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床系统等。

　　1、介质过滤器主要作用是去除原水中的悬浮物质及机械杂质。设备由优质不锈钢材料制作而成。体内装有布水帽、精制石英砂等，亦可装其它填料。合理的石英砂装填比例及良好的布水系统，使系统的产水水质更加稳定。另外设备还设有气体冲刷功能，能最大限度地清除介质上及床层中的污垢，提高出水水质和延长工作周期。

　　2、活性炭过滤器具有除臭、去色、除油、吸附有机物杂质等作用，能最大程度的去除水中的游离余氯，保证反渗透膜的进水水质，设备由优质不锈钢材料制成。

　　3、RO主机系统引进国际上先进的反渗透技术，利用压力差原理，能有效地去除水中的盐类，脱盐率可达到99%左右。

　　4、混床系统采用离子交换技术，内装阴、阳树脂，合理的树脂层高度能有效地保证出水水质满足用户要求。

超纯水设备

　　1、整体化程度高，易于扩展，增加膜数量即可增加处理量。

　　2、自动化程度高，遇故障立即自停，具有自动保护功能。

　　3、膜组件为复合膜卷制而成，表现出更高的溶质分离率和透过速率。

　　4、能耗低，水利用率高，运行成本低。

　　5、结构合理，占地面积少。

　　6、先进的膜保护系统，在设备关机，淡化水可自动将膜面污染物冲洗干净，延长膜寿命。

　　7、系统无易损部件，无须大量维修，运行长期有效。

　　8、超纯水处理设备设计有膜清洗系统用阻垢系统。

超纯水设备

　　集成电路用超纯水设备主要是有机械过滤器、活性炭过滤器、软化器和精密过滤器组成的预处理系统，主要的设备主要有反渗透设备、EDI模块。传统的超纯水设备采用的核心技术是阴阳混床，EDI技术的出现取代了混床的应用，出水质量高，运行更加稳定。