大型电子用超纯水设备工艺比较

　　大型电子用超纯水设备是利用高压力使水中的带电的离子进行移动，并且与离子交换树脂技术相结合在一起，加速得到超纯水的一种设备。

超纯水设备

　　大型电子用超纯水设备工作原理

　　1、水进入EDI超纯水系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。

　　2、树脂截留水中的溶存离子。

　　3、被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。

　　4、阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外。

　　5、阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外。

　　6、浓缩了的离子从废水流路中排出。

　　7、无离子水从树脂/膜内流出。

超纯水设备

　　大型电子用超纯水设备工艺比较

　　目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

　　1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

　　3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。

超纯水设备

　　大型电子用超纯水设备属于环保型技术，离子交换树脂不需酸、碱化学再生，节约大量酸、碱和清洗用水，大大降低了劳动强度。

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