解析超纯水设备的工作原理与工艺技术

　　超纯水设备工艺通常是采用离子交换树脂进行制取，但采用离子交换树脂通常需要经常性的进行树脂再生，即耗费物力又浪费人工，我们公司经过多年实践，同时结合新的膜分离技术，常采用反渗透加离子交换系统(或EDI)相结合用来制备超纯水，该工艺与传统工艺相比具有运行成本低的优点(离子交换器的再生周期大大延长)，运行可靠。

超纯水设备

　　超纯水设备工作原理

　　1. 水进入纯化系统，主要部分流入树脂 / 膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。

　　2. 树脂截留水中的溶存离子。

　　3. 被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。

超纯水设备

　　4. 阳离子透过阳离子膜，排出树脂 / 膜之外。

　　5. 浓缩了的离子从废水流路中排出。

　　6. 去离子水从树脂 / 膜内流出。

超纯水设备

　　超纯水设备与新工艺相比具有造价低，耗材易得的优点。反渗透工艺技术先进，可靠。依据集成电路用水需求，采用反渗透技术和EDI技术相结合，经过反渗透技术过滤掉水中的大部分杂质，再经过EDI深度处理，完全去掉水中的导电离子，出水电阻率可以达到18兆欧以上，完全满足集成电路生产用水需求。