晶体管生产用超纯水设备处理系统先进
晶体管生产用超纯水设备的性能优势非常明显,可以连续稳定的制备品质优良的超纯水,不会因为树脂再生而停止运行,超纯水系统结构设计相对靠紧,占地面积小,可以为企业节省很多空间。
超纯水设备
晶体管生产用超纯水设备特点
(1)脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
(2)较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上。
(3)离子交换树脂不需使用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度。
(4)清洁生产,无废水处理问题,利于环保。
(5)自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线。
(6)产水电阻率15-18MΩ.cm,pH6.5-7.0,硅<1.0ppb,彻底无菌。
(7)占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统。
超纯水设备
晶体管生产用超纯水设备设计原则
1、工程以投资省,运转费用低,占地面积小为原则。
2、处理系统先进,设备运行稳定可靠,维护简单、操作方便。
3、污水处理系统不産生二次污染源污染环境。
4、控制管理按处理工艺过程要求尽量考虑自控,降低超纯水设备运行操作的劳动强度。
超纯水设备
超纯水水质标准
我公司电子级超纯水设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。
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