芯片清洗用超纯水设备水质标准
芯片的质量越高,对水质的要求也就越严格。芯片清洗用超纯水设备是根据行业中生产的特殊要求设计研发的新型设备。用户可以根据自己的实际情况调整设备的实际出水量。
超纯水设备
芯片清洗用超纯水设备水质标准
1、超纯水处理设备出水水质完全符合美国ASTM纯水水质标准
2、我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)
3、我国电子工业部高纯水水质试行标准
4、美国半导体工业用纯水指标
5、日本集成电路水质标准
6、国内外大规模集成电路水质标准
超纯水设备
芯片清洗用超纯水设备优点
1、工艺的设计细微周到,元件的材质、性能、设计的流量、流速、压力等均符合国家的标准规范及国外材料商的规定要求。
2、制水过程高度自动化,自动进水,自动制水,纯水箱满水自动停机,用水后自动恢复,可完全实现无人值守的运行。
3、可选用可编程控制(PLC),计算机触摸屏控制,远程数据采集及监控等先进技术,使产品更具现代化特色。
超纯水设备
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