电子芯片清洗用超纯水设备的技术指标
随着我国电子行业的经济迅速发展,电子对水质的要求也越来越高。超纯水的生产用水的水质好坏,直接影响产品的质量,进而影响整个企业的竞争力。电子芯片清洗用超纯水设备采用电渗析技术和离子交换技术相融合,进而完成水的深度除盐。
超纯水设备
电子芯片清洗用超纯水设备的技术指标
1、脱盐率大于99.9%,效率远远高于两级反渗透和单纯的离子交换。
2、较传统的离子交换法脱盐节约树脂95%以上。
3、离子交换树脂不需使用酸碱再生,节约大量酸碱和清洗用水,降低劳动强度。
4、清洁生产,无废水处理问题,利于环保。
5、自动化程度高,易维护,可设计成完善的膜技术高纯水生产线。
6、产水电阻率15-18MΩ.cm,pH6.5-7.0,硅<1.0ppb,彻底无菌。
7、占地面积小,单一系统连续运转,不需建设备用系统。
超纯水设备
超纯水使用要求
半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
超纯水设备
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