微电子行业用超纯水设备的技术优势

　　随着科学技术的不断发展，现在常常采用反渗透工艺或者是EDI工艺。微电子行业用超纯水设备采用的是先进的EDI技术，产出的水电阻率可以达到18兆欧，是工业生产不可或缺的净水设备。

超纯水设备

　　微电子用超纯水设备工艺流程

　　1、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透设备→中间水箱→中间水泵→离子交换器→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

　　2、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

　　3、原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→微孔过滤器→用水点

超纯水设备

　　微电子用超纯水设备技术要求

　　1、采用全自动控制(同时亦可采用手动控制)，系统运行时可设定自动反洗、再生程序。

　　2、一级反渗透和二级反渗透设有回流管道，设备设有化学清洗装置和消毒装置反渗透膜采用美国进口反渗透膜，以保证设备能长期稳定运行。

　　3、反渗透管路采用不锈钢和UPVC等优质材料。

　　4、在第一级反渗透和第二级反渗透设备中均装有在线电导检测仪。

　　5、反渗透系统设有低压保护和高压保护开关。

　　6、反渗透水回收率可调，一级反渗透回收率60-70%，二级反渗透回收率70-80%。

　　7、循环输送管道装有紫外线杀菌器和微孔过滤器，保证水符合卫生要求。

超纯水设备

　　微电子用超纯水设备结构设计相对靠紧，所以其占地非常小，可以为企业节省很多空间，超纯水设备在出厂前均需进行装置调试，所以设备故障几率较小，日常保养、维修等操作都非常简单。

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