微电子生产用超纯水设备工艺比较

文章出处：EDI水处理作者：EDI水处理发表时间：2016-07-04 15:14:06

　　微电子是继集成电路而发展起来的一门新型技术，微电子是一种高度精密的技术，因此生产过程对于用水要求相对严格。微电子生产用超纯水设备采用世界领先的制水技术，保证设备的出水水质符合行业用水。

超纯水设备

　　目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：

　　1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。

　　2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。

　　3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。

超纯水设备

　　微电子生产用超纯水设备特点

　　①稳压范围宽，输入电压变动±20%仍可正常使用。

　　②效率高，产品具有功率因素校正电路，功率因数可达0.98以上。

　　③输出电压电流无级连续可调，稳压稳流自动切换。

　　④负载由最小至最大值的稳流变化小于0.1%。

超纯水设备

　　⑤安全性能高，输出端可任意短接不会造成机器损坏，且短接电流可由零至最大值连续调整。

　　⑥微电子生产用超纯水设备采用先进的高频脉宽调制技术，具有稳定度强、精度高，体积小、重量轻、功耗低等特点。