集成电路生产用超纯水设备核心部件

文章出处：EDI水处理作者：EDI水处理发表时间：2016-06-16 15:34:13

　　集成电路生产制造过程中经常会用到超纯水，超纯水设备主要采用反渗透技术和EDI技术相结合的制水工艺，保证设备的出水水质。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备特点

　　1、连续运行，产品水水质稳定，容易实现全自动控制。

　　2、超纯水设备无须用酸碱再生，且不会因再生而停机。

　　3、节省了再生用水及再生污水处理设施，产水率高(可达95%)。

　　4、设备单元模块化，可灵活的组合各种流量的净水设施。

　　5、无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施，使用安全可靠，避免工人接触酸碱。

　　6、安装简单，占地面积小，降低运行及维护成本。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备各部件功用

　　1、原水箱，功用：贮存系统原水，对进水起调节作用，也对进水中的杂质起一定的沉淀作用。

　　2、砂滤器，功用：初步去除水中泥沙、杂质、悬浮物以及其它微粒等降低水的浊度。

　　3、碳滤器，功用：利用碳的吸附原理吸附水中异色、异味、余氯等。

　　4、软水器，功用：利用阳树脂置换水中的钙镁离子，降低水的硬度。

　　5、保安过滤器，功用：防止大颗粒杂质进入反渗透膜，造成对膜的损坏，保护反渗透膜。

　　6、反渗透主机，功用：主要是通过反渗透过滤，达到生产纯水之目的。

　　7、纯水箱，功用：储存反渗透产水，为用水点提供水源。

　　8、纯水增压泵，功用：为混床系统提供动力源。

　　9、混床系统，功用：利用阳阴树脂吸附置换水中阳阴离子，使出水达到超纯水标准。

　　10、超纯水箱，功用：储存混床产水，为用水点提供水源。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备主要采用反渗透+混床工艺。混床离子交换技术一直作为超纯水制备的标准工艺。将电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的EDI技术成为水处理技术的一场革命。