半导体行业用EDI超纯水设备的工艺流程
半导体行业用EDI超纯水设备采用离子交换膜技术和离子电迁移技术相结合的制造技术,属高科技绿色环保技术。这种技术的环保特性好,操作使用简便。
EDI超纯水设备
半导体行业用EDI超纯水设备的工艺流程
1、采用离子交换方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→第一级反渗透→PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式,其流程如下:
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
EDI超纯水设备
半导体行业用EDI超纯水设备设计优势
1、系统采用全不锈钢配置,运行稳定,精致美观,操作简单方便。
配备有纯化水专用中间水箱,配备压力式液位计空呼吸装置,防止因自来水压力不稳定对设备造成影响。
3、配备纯化水专用保温水箱,配备压力式液位计,旋转喷淋清洗及空呼吸装置。
4、配备有水箱进水电磁阀,比常规的浮球进水阀性能稳定。
EDI超纯水设备
5、采用双级反渗透配置,大程度确保系统稳定运行。
6、配备有PH调节及在线检测系统,美国进口计量泵,调节PH值,防止CO2对产水水质的影响。
7、电子半导体行业用EDI超纯水设备采用进口海德能超低压反渗透,脱盐率高,使用寿命长,运行稳定,能耗下降20%。
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