微电子行业用超纯水设备工艺流程

　　微电子行业用超纯水设备的产水电阻率可以达到18兆欧以上，满足了很多工业的生产需要。采用的是先进的EDI技术，通过电渗析和离子交换的结合达到了很好的净水效果，并且净水的过程中不会产生污染的物质，保证了产才的品质。

超纯水设备

　　微电子行业用超纯水设备工作原理

　　超纯水设备将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。而通过浓水室的水将离子带出系统，成为浓水。超纯水设备一般以反渗透(RO)纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm(25℃)。超纯水电阻率可以高达18MΩ.cm。

超纯水设备

　　微电子行业用超纯水设备工艺流程

　　1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

超纯水设备

　　微电子行业用超纯水设备优势明显，设备所有零件均是采用进口产品，技术先进成熟。只要改变膜的数量就可以改变处理量，设备整体化成都高、能源消耗低，水利用率大、运行稳定。

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