集成电路生产用超纯水设备工作原理

　　集成电路生产用超纯水设备引进国外进口元件，结合国内外制水经验，选用先进的反渗透技术和EDI技术相结合，有效去除水中的各种杂质。集成电路生产用超纯水设备具有出水水质好，操作简单，制水效果明显等特点。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备工作原理

　　供给原水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿膜板外侧流动，以洗去透出膜外的离子，SHU脂截留水中的容存离子，被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动，阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外，阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外，浓缩了的离子从废水流路中排出，无离子水从树脂/膜内流出。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备特点

　　1、连续运行,产品水水质稳定，容易实现全自动控制。

　　2、超纯水设备无须用酸碱再生，且不会因再生而停机。

　　3、节省了再生用水及再生污水处理设施，产水率高(可达95%)。

　　4、设备单元模块化，可灵活的组合各种流量的净水设施。

　　5、无须酸碱储备和酸碱稀释运送设施，使用安全可靠，避免工人接触酸碱。

　　6、安装简单，占地面积小，降低运行及维护成本。

超纯水设备

　　集成电路生产用超纯水设备同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，真正做到了无人值守。该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

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