微电子用超纯水设备的优点介绍

　　微电子行业使用的水必须是是经过超纯水设备处理过的水。微电子用超纯水设备的电导率可达到18.3兆欧，是目前水质高的超纯水。超纯水设备采用先进的EDI工艺，完全满足电子行业的水质要求，微电子用超纯水设备是工业生产中必不可少的净水设备。

　　微电子用超纯水设备的工艺流程

　　1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的方式，这是一种制取超纯水的新工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水→砂炭过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子(EDI)→纯水箱→纯水泵→后置精密过滤器→用水点

　　微电子用超纯水设备的优点

　　1、设备所有零件均是采用进口产品，技术先进成熟。

　　2、只要改变膜的数量就可以改变处理量，设备整体化成都高。

　　3、全自动化控制，装有自我保护系统。

　　4、能源消耗低，水利用率大。

　　5、微电子用超纯水设备结构合理，操作简单，运行稳定。

　　微电子用超纯水设备具有连续产水、水质高、易控制、占地少、不需酸碱、利于环保等优点，具有广泛的应用前景。