微电子用超纯水设备技术要求

　　微电子用超纯水设备是利用一种将离子交换技术、离子电迁移技术和离子交换膜技术相互结合在一起的超纯水工艺技术。设备已经属于科技绿色环保的技术，微电子用超纯水设备的产水水质的电阻率可以达到18.2兆欧以上。

　　微电子用超纯水设备技术要求

　　1、采用全自动控制(同时亦可采用手动控制)，系统运行时可设定自动反洗、再生程序。

　　2、一级反渗透和二级反渗透设有回流管道，设备设有化学清洗装置和消毒装置反渗透膜采用美国进口反渗透膜，以保证设备能长期稳定运行。

　　3、反渗透管路采用不锈钢和UPVC等优质材料。

　　4、在第一级反渗透和第二级反渗透设备中均装有在线电导检测仪。

　　5、反渗透系统设有低压保护和高压保护开关。

　　6、反渗透水回收率可调，一级反渗透回收率60-70%，二级反渗透回收率70-80%。

　　7、循环输送管道装有紫外线杀菌器和微孔过滤器，保证水符合卫生要求。

　　微电子用超纯水设备性能

　　1、主要零部件均采用世界名牌产品，经CAD设计，技术先进，性能可靠、产水性能优良。

　　2、前置预处理保护装置，确保高压泵及反渗透膜不受硬物损坏。

　　3、脱盐率高，运行压力低的卷式复合膜提高了系统效率，并除低了运行成本。

　　4、产品浓缩水各设有流量计，以监视并调节运行出水量及系统回收率。

　　5、在线电导仪表连续监测产品水质，带有设定值和报警。

　　6、进水及排水系统压力表监测反渗透压差，提示清洗时间，全面的系统监视，自动的仪表显示。

　　7、灵敏的高压、低压开关，防止在异常状况下对设备的损坏，确保系统的正常运转。

　　8、先进的膜保护系统定时冲洗膜表面，降低污染速度，延长膜使用寿命。

　　9、微电子用超纯水设备脱盐率95%以上，单支膜脱盐率超过99%，操作经济。具有标准性完全根据用户要求，进行合理设计。